全自動(dòng)光學(xué)影像測(cè)量?jī)x的精度通常可以達(dá)到非常高的水平，一般在微米級(jí)別。

　　一、高精度級(jí)別

　　在理想的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，一些光學(xué)影像測(cè)量?jī)x的測(cè)量精度可以達(dá)到(0.5+L/200)μm左右。其中L是測(cè)量長(zhǎng)度（單位：米）。這意味著當(dāng)測(cè)量一個(gè)較小尺寸的物體，如邊長(zhǎng)為100mm（0.1m）的零件時(shí)，測(cè)量誤差可以控制在0.5μm+0.1m/200=1.0μm以內(nèi)。這種高精度的測(cè)量能力使得儀器能夠滿足對(duì)尺寸精度要求高的行業(yè)需求，如半導(dǎo)體芯片制造、精密光學(xué)鏡片加工等行業(yè)。
 

　　二、影響因素

　　1、光學(xué)系統(tǒng)質(zhì)量：高質(zhì)量的鏡頭和光源系統(tǒng)是保證精度的關(guān)鍵因素。優(yōu)質(zhì)的光學(xué)鏡頭能夠提供清晰、準(zhǔn)確的圖像，減少因光學(xué)畸變等因素導(dǎo)致的測(cè)量誤差。例如，采用高分辨率、低畸變的鏡頭可以有效提高測(cè)量的精度。

　　2、機(jī)械結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性：測(cè)量?jī)x的機(jī)械結(jié)構(gòu)需要具有良好的穩(wěn)定性，以防止在測(cè)量過(guò)程中因機(jī)械振動(dòng)或變形而影響測(cè)量結(jié)果。例如，儀器的工作臺(tái)需要采用高精度的導(dǎo)軌和穩(wěn)定的支撐結(jié)構(gòu)，確保在X、Y、Z三個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)精度，從而保證測(cè)量的重復(fù)性和準(zhǔn)確性。

　　3、標(biāo)定和校準(zhǔn)：定期的標(biāo)定和校準(zhǔn)對(duì)于維持測(cè)量?jī)x的高精度至關(guān)重要。通過(guò)使用標(biāo)準(zhǔn)的量塊或者標(biāo)準(zhǔn)件進(jìn)行標(biāo)定，可以糾正儀器可能存在的系統(tǒng)誤差，使其達(dá)到最佳的測(cè)量狀態(tài)。

　　4、環(huán)境因素：環(huán)境溫度、濕度和氣流等因素也會(huì)對(duì)測(cè)量精度產(chǎn)生影響。例如，溫度變化會(huì)導(dǎo)致被測(cè)物體和測(cè)量?jī)x本身的熱脹冷縮，從而影響測(cè)量結(jié)果。一般來(lái)說(shuō)，需要在恒溫恒濕的環(huán)境中使用全自動(dòng)光學(xué)影像測(cè)量?jī)x，以減少環(huán)境因素對(duì)精度的影響。